第10.5世代用CLIOSとの連結でペリクルの異物検査から貼り付けまで自動処理

特長

  • 第10.5世代までの様々なサイズのペリクルに対応
  • マスクへのペリクル貼り付けをマスク検査直後にリモートで実施でき、異物付着リスクを最小化
  • アライメントカメラにて高精度なペリクルの位置決めが可能
  • 異物検査機能により、ペリクル表面、裏面の異物検査が可能 (オプション)
  • マスクへペリクルを仮貼り後、プレス装置にて圧力と時間を管理し均一な本貼りを実現

用途


  • FPDフォトマスク製造工程におけるペリクル異物検査と自動搬送、および貼り付け

仕様

対応可能ペリクルサイズ 10.5Gまでのペリクルサイズにマルチ対応
検査時間 35分(10.5G用ペリクル)
検出感度 5μm
検査範囲 ペリクル枠より5mm内側のペリクル面
外形寸法 3,200mm(W)×4,000mm(D)×3,700mm(H)
重 量 約1,700kg

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