CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム
71PA CM
第10.5世代用CLIOSとの連結でペリクルの異物検査から貼り付けまで自動処理
関連ニュース
特長
- 第10.5世代までのさまざまなサイズのペリクルに対応
- マスクへのペリクル貼り付けをマスク検査直後にリモートで実施でき、異物付着リスクを最小化
- アライメントカメラにて高精度なペリクルの位置決めが可能
- 異物検査機能により、ペリクル表面、裏面の異物検査が可能（オプション）
- マスクへペリクルを仮貼り後、プレス装置にて圧力と時間を管理し均一な本貼りを実現
用途
- FPDフォトマスク製造工程におけるペリクル異物検査と自動搬送、および貼り付け
仕様
| 対応可能ペリクルサイズ | 10.5Gまでのペリクルサイズにマルチ対応 |
|---|---|
| 検査時間 | 35分（10.5G用ペリクル） |
| 検出感度 | 5μm |
| 検査範囲 | ペリクル枠より5mm内側のペリクル面 |
| 外形寸法 | 3,200mm（W）×4,000mm（D）×3,700mm（H） |
| 重量 | 約1,700kg |
