第10.5世代対応大型フォトマスクを高速/高感度で欠陥検査が可能

特長

  • 第10.5世代(2,000mm × 1,800mm)までのフォトマスク欠陥検査及び欠陥レビューが可能
  • 高機能欠陥検出アルゴリズムと高解像度データベースによる高感度検査を実現
  • Die to DieとDie to Databaseの同時検査(コンボモード)が可能
  • 新設計ステージと高速化した欠陥検出処理ユニットにより、検査時間を短縮 (従来比3割削減)
  • SECS/GEMによるフルオートメーション処理が可能

用途

  • 第10.5世代対応大型フォトマスクの製作過程での欠陥検査、および出荷品質検査

仕様

対応可能マスクサイズ 800mm (W)×520mm(H)~2,000mm (W)×1,800mm (H)
検出感度 0.4μm ※感度チェック用マスクで保証
検査時間 8時間 (1,760mm×1,600mm)
検査可能マスク ハーフトーンマスク、グレートーンマスク、バイナリーマスク
外形寸法 5,600mm(W)×2,000mm(D)×3,100mm(H)
重量 約10,000kg

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