FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G10シリーズ
第10.5世代対応大型フォトマスクを高速/高感度で欠陥検査が可能
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特長
- 第10.5世代（2,000mm × 1,800mm）までのフォトマスク欠陥検査および欠陥レビューが可能
- 高機能欠陥検出アルゴリズムと高解像度データベースによる高感度検査を実現
- Die to DieとDie to Databaseの同時検査（コンボモード）が可能
- 新設計ステージと高速化した欠陥検出処理ユニットにより、検査時間を短縮 （従来比3割削減）
- SECS/GEMによるフルオートメーション処理が可能
用途
- 第10.5世代対応大型フォトマスクの製作過程での欠陥検査および出荷品質検査
仕様
| 対応可能マスクサイズ | 800mm（W）×520mm（H）～2,000mm（W）×1,800mm（H） |
|---|---|
| 検出感度 | 0.4μm ※感度チェック用マスクで保証 |
| 検査時間 | 8時間（1,760mm×1,600mm） |
| 検査可能マスク | ハーフトーンマスク、グレートーンマスク、バイナリーマスク |
| 外形寸法 | 5,600mm（W）×2,000mm（D）×3,100mm（H） |
| 重量 | 約10,000kg |
