EUVマスク裏面の異物検出・高さ測定・クリーニング機能を1台に統合

特長

  • EUVマスク裏面の異物検出に最適化した検査光学系
  • EUV露光に影響を及ぼす異物の高さ測定機能
  • EUV露光に影響を及ぼす異物のクリーニング(除去)機能
  • 発塵リスクの無いデュアルポッドハンドリング方式
  • パターンにダメージを与えないスキャン方式
  • EUV量産において適用可能な検査時間
  • OHT(Overhead Hoist Transport)と連動した全自動検査
  • 電源・制御系統を本体に内蔵したオ―ルインワン設計によるコンパクト化

用途

  • ウェハファブにおけるEUVマスク裏面の定期管理・受け入れ検査
  • EUVマスク裏面の異物の検出・高さ測定・クリーニング
  • マスクメーカ、ブランクスメーカにおける出荷検査

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