6つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅

特長

  • 高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
  • 広視野観察:一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上
  • ナノオーダー測定:光干渉測定、反射分光膜厚測定
  • 波長選択:6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現
  • 高精細カラー観察:カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得

OPTELICS 特設サイト

用途

各種材料の観察及び形状測定:
半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、
無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など

仕様

観察機能 レーザー高分解能観察,カラーコンフォーカル観察,微分干渉観察
測定機能 高さ測定、表面粗さ測定、形状特徴(面積・体積・表面積など)、光干渉測定、反射分光膜厚測定
高さ測定 正確さ ±(0.11+L/100)um
測定再現性(σ)0.01um
幅測定 正確さ ±(0.02×{100/対物レンズ倍率}+L/100)um
測定再現性(3σ)0.01um
フレームレート 15Hz~120Hz
波長選択機能 436nm,486nm,514nm,546nm,578nm,633nm
操作モード 全自動設定,操作ガイダンス,マクロ機能,簡単モードなど
オプション 自動測定ソフト,自動検査ソフト,大型特殊ステージなど

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