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OPTELICS HYBRID+

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お客さまのニーズに合わせて、最適な機能をご紹介します。
下記よりお選びください。

  • 観察
  • 測定
  • 自動化
  • ソフトウェア

観察

高精細なカラー観察をしたい
高倍率・高分解能で観察したい
ナノレベルの凹凸を観察したい

測定

広視野を高精度に測定したい
高倍率・高分解能で測定したい
高低差のあるサンプルを測定したい
ナノレベルの形状を測定したい
ナノレベルの透明膜厚を測定したい

自動化

短時間で多点測定を行いたい
基板等の全面検査および欠陥分類・レビューを行いたい
パターン付きサンプルの欠陥検査をしたい
搬送系を含めた全自動のウェハ検査&レビューをしたい

ソフトウェア

簡単に測定条件を最適化したい
最適なノイズ処理を行いたい
測定結果を訴求力のあるレポートにまとめたい
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