自動化への対応でより効率的に

自動測定(LIBRA)

LIBRAは自動測定のためのソフトウェアです。電動ステージと組み合わせ、あらかじめ作成した測定レシピに基づき自動測定を行います。測定レシピにはサンプルサイズ、アライメント設定、測定場所、AF設定、パターンマッチング、計算方法などの情報が記録されており、レシピファイルとして保存できます。閾値を設定することで、良否判定も可能です。

下の画像はLIBRAの操作画面です。実際の運用の流れを測定フローとして記載しています。レシピの読み込みを行い、測定開始を選択するだけで、測定完了+データリストの表示まで自動的に進行します。

バンプの自動測定
事例

300mmウェハ内の約40万点のマイクロバンプの測定

対象のバンプを画像認識し、自動で検出、測定します。測定中は作業者を拘束しないため、他の作業に専念することができます。

マイクロバンプの自動測定

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