各種コンポーネント

カスタマイズ

HYBRID+はお客さまの測定・観察ニーズに合わせたカスタマイズ提案が可能です。
標準のオプション部品の提案から、オーダーメイドの特注機設計まで対応いたします。

各種ステージ

サンプル・運用に合わせたステージをご提案いたします。

マニュアルステージ

XYストローク 150 mm×150 mm

ベーシックモデル向けの手動XYステージです。

電動ステージ

XYストローク 160 mm×160 mm

画像連結や複数箇所の連続測定に有効です。作業性が大幅アップします。

スケール付き電動ステージ

XYストローク 160 mm×160 mm

新たに測長スケール付き電動ステージを採用し、位置決め精度と再現性が向上しました。信頼性の高い画像連結を実現します。

電動X-θステージ

θ回転ステージ

電動モータで筒状のサンプルなどの軸回転が可能です。

各種サンプルホルダー

サンプルの設置・保持を助ける治具をご用意しています。

ウェハホルダー

真空吸着機構によってウェハの反りを矯正します。

2~4インチウェハホルダー
6インチウェハホルダー
8~12インチウェハホルダー

静電吸着ホルダー

静電気力でサンプルを吸着します。紙やフィルム、金属箔などの薄く変形しやすいサンプルに有効です。

チルトホルダー

水平2軸傾斜補正機能を持ったホルダーです。

大型ステージ・特殊ステージ

ステージサイズ、ストローク、サンプルホルダー、自動搬送など、さまざまなニーズに対応可能です。

XYストローク 300 mm×300 mm
門柱型顕微鏡
XYストローク 800 mm×1,000 mm
ガントリー門柱型顕微鏡
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共焦点システムソリューション部
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