多彩なニーズに応える6つの機能
位相シフト干渉測定
単色光と二光束干渉レンズにより生じる干渉縞は、試料からの反射光の光路差分布に対応しており、光軸方向に精密にステップ移動した4つの干渉画像を位相解析することで、高さ分布を高分解能で求めます(高さ測定範囲は測定波長の半波長以内)。垂直式白色干渉機能と違い光軸方向の移動は、ステップ移動になるため測定時間が短く、数秒で測定が可能です。
下の画像のように8nm段差の標準片を測定することができ、また1nm~数nmの結晶成長の表面段差も測定が可能です。
![試験片](/products/microscope/optelics_hybrid/function/img/phase_im01.jpg)
![SiC結晶の成長面(名古屋大学 未来材料・システム研究所 宇治原徹教授ご提供)](/products/microscope/optelics_hybrid/function/img/phase_im02.jpg)
事例
ナノオーダーの傷や表面粗さ測定
ウェハの研磨プロセスでの研磨面の欠陥形状測定・評価に使用されています。
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