自動化への対応でより効率的に

Wシリーズ

HYBRID+は新たに2~8インチウェハローダー対応モデル「Wシリーズ」をラインアップしました。搬送の自動化と自動測定・検査ソフトの連携運用で、お客さまのニーズに合わせた量産システムに対応した装置を提供します。R&Dプロセスで行っているレーザー顕微鏡の測定を量産ラインで行うことで、お客さまの品質向上に貢献します。

HYBRID+ Wシリーズ 外観
HYBRID+ Wシリーズ 外観
ウェハオートローダー部
ウェハオートローダー部
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