多彩なニーズに応える6つの機能

レーザーコンフォーカル

レーザーコンフォーカル顕微鏡はレーザー光源を用いてコンフォーカル測定を行う顕微鏡です。HYBRID+は白色コンフォーカル顕微鏡と共通の光学系にレーザーコンフォーカル顕微鏡を搭載しています。波長405 nmのバイオレットレーザーを搭載することで、大気中で前処理することなく、電子顕微鏡に匹敵する高い解像度で、ナノレベルの微細構造を鮮明に捉えます。
バイオレットレーザーは可視光の中で最も波長が短く、エネルギー密度が高いため、高倍率かつ高コントラストの撮像が可能です。単一波長なのでモノクロームの観察画像となります。

具体的な事例としては、下の画像に示したような高倍率の観察が可能です。結晶材料、有機材料、半導体材料、デバイス構造などの微細構造を詳細に観察することができるため、材料開発や製造プロセスへの早期フィードバックに役立ちます。

ニオブ酸ナトリウム(視野25μm、モニター上倍率11,100倍)
Siウェハ裏面(視野75μm、モニター上倍率3,700倍)
ポリマーブレンド球晶(視野150μm、モニター上倍率1,850倍)
半導体パターン(視野75μm、モニター上倍率3,700倍)
事例

前処理せずに、高倍率・高解像の観察が必要な場合

光をプローブとして使用しているため、蒸着・真空引きといった前処理が不要です。食品のようなウェットなサンプルに有効です。

膜の厚みムラの観察

レーザー光は可干渉性が高いため膜ムラに強いコントラストを発生させることができます。白色光では膜干渉が発生しにくい厚膜にも膜干渉コントラストをつけることができるため、膜ムラを一目で判別することができます。

偏光特性のあるサンプルの観察

レーザー光は直線偏光のため、偏光特性をもつサンプルの観察に活用できます。

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共焦点システムソリューション部
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