多彩なニーズに応える6つの機能

反射分光膜厚測定

反射分光膜厚測定は、波長選択機能を用いて6波長の絶対反射率を測定し、光学モデルを用いたフィッティングにより膜厚を算出します。数nm~1μm程度の単層/多層膜厚測定が可能です。一般的な反射分光膜厚測定器が約φ1mmスポットエリアの平均膜厚のみを算出するのに対し、HYBRID+の反射分光膜厚測定であれば、測定領域をコンフォーカル観察像から指定するため、サブミクロンの微小領域~視野全体の数mm領域の平均膜厚が算出できます。さらにピクセル毎の膜厚を計測できるため、膜厚分布測定が可能です。

下の微小領域の測定事例のように、Si基板上のSiO2パターンを指定して測定が可能です。撮像後に視野内で複数エリアの膜厚を解析することもできます。また、膜厚分布測定事例のように、LB膜の分子膜段差の空間的な変化を連続的に測定することが可能です。

微小領域の膜厚測定

一般的な膜厚測定器の測定エリアは1mmφ程度
Si基板上のSiO2膜厚:114 nm

膜厚分布測定

Si基板上の(2分子膜:4nmの積層)LB膜(山形大学 松井研究室 松井淳教授ご提供)
事例

パターンの膜厚測定

一般的な反射分光測定器と異なり、TEGのようなテストパターンではなく実パターンを直接測定可能です。

エッチング後の残渣測定

細い溝状パターン底部のレジスト残渣などを測定することが可能です。

膜ムラの測定

基板上に形成した膜の厚みムラを下地のうねりの影響を受けずに測定することが可能です。

透明基板上の膜厚測定

コンフォーカル光学系により、裏面反射を除いて測定が行えるため、透明基板でも正しく反射率を測定できます。

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共焦点システムソリューション部
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