反射分光膜厚測定は、波長選択機能を用いて6波長の絶対反射率を測定し、光学モデルを用いたフィッティングにより膜厚を算出します。数nm～1μm程度の単層/多層膜厚測定が可能です。一般的な反射分光膜厚測定器が約φ1mmスポットエリアの平均膜厚のみを算出するのに対し、HYBRID⁺の反射分光膜厚測定であれば、測定領域をコンフォーカル観察像から指定するため、サブミクロンの微小領域～視野全体の数mm領域の平均膜厚が算出できます。さらにピクセル毎の膜厚を計測できるため、膜厚分布測定が可能です。

下の微小領域の測定事例のように、Si基板上のSiO2パターンを指定して測定が可能です。撮像後に視野内で複数エリアの膜厚を解析することもできます。また、膜厚分布測定事例のように、LB膜の分子膜段差の空間的な変化を連続的に測定することが可能です。

微小領域の膜厚測定

膜厚分布測定