計測サポート機能

HDR・マルチゲイン

HDRモード

ひとつの画面内に反射率の大きく異なるエリアが存在する場合、複数の受光感度を設定することでデータの欠落を防止する測定モードです。

下の画像ではHDR(High Dynamic Range)モードとノーマルモードでプリント基板の同一箇所を撮影したものを比較しています。ノーマルモードでは反射率の低い基板面は暗く見えにくくなっていますが、HDRモードでは反射率の高い金属面と反射率の低い基板面の両方を最適な感度で同時に撮影しています。

プリント基板

マルチゲインモード

Z方向の計測範囲を最大で6段階に分割し、各段階で個別に検出器のゲインを設定できます。高さによって反射率の異なるサンプルに対して効果的です。

下の画像はアスペクト比の高いトレンチ構造のシリコンウェハを撮影しています。上面が高反射率であり、斜面および下面が低反射率の構造で、測定が難しいサンプルですが、それぞれに最適なゲインを設定することで測定に成功しています。

高アスペクトのトレンチ

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共焦点システムソリューション部
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