モデル ベーシックモデルC3 スタンダードモデルL3 ハイエンドモデルL7
機能
  • 白色コンフォーカル
  • 白色コンフォーカル
  • レーザーコンフォーカル
  • 白色コンフォーカル
  • レーザーコンフォーカル
  • 微分干渉観察
  • 垂直式白色干渉測定
  • 反射分光膜厚測定
光源 白色光源
レーザー光源 - 405nm
視野/倍率 光源 対物レンズ モニター上倍率
(24インチ)
視野(H×V)
白色 18.5×
15,000 × 15,000μm
2.5× 46.2×
6,000 × 6,000μm
92.5×
3,000 × 3,000μm
10× 185×
1,500 × 1,500μm
20× 370×
750 × 750μm
50× 925×
300 × 300μm
100× 1,850×
150 × 150μm
150× 2,775×
100 × 100μm
レーザー 50× 1,850× -
150 × 150μm
100× 3,700× -
75 × 75μm
150× 5,550× -
50 × 50μm
ズーム機能 1×~8×
画像情報 輝度 1,024×1,024×12 bit / 高精細モード2,048×2,048×12 bit
高さ 1,024×1,024×16 bit / 高精細モード2,048×2,048×16 bit
フレームレート 15 Hz~120 Hz
幅測定 最小測定単位 0.001 μm
正確さ ±[ 0.02×(100/対物レンズ倍率)+L /1000] μm
繰り返し性(3σ)※1 10 nm
高さ測定 スケール分解能 0.05 nm
正確さ ±(0.11+L/100) μm
繰り返し性(σ)※2 10 nm
測定範囲※3 7 mm
Zストローク 100 mm 80 mm
レボルバー 5穴電動レボルバー(レンズ位置自動認識機能付き)
XYステージ マニュアル -
電動 オプション
微分干渉観察機能 オプション
垂直式白色干渉測定機能 オプション
位相シフト干渉測定機能 オプション
反射分光膜厚測定機能 オプション
ソフトウェア 画像取得 HDRモード、パッチワーク、マルチゲイン、等
画像処理 表面補正(傾き、球面)、ノイズ除去、フィルター、カラー抽出、二値化、等
形状解析 プロファイル計測、比較計測、表面粗さ測定、幅・ピッチ計測、膜厚計測
データ出力 専用拡張子、汎用画像ファイル、CSVファイル、STEPファイル
効率化ツール LMカルテ、フィルターアシスト、マクロ機能、粗さサジェスト、Officeレポート
ユーティリティ AC:100 V 50/60 Hz 約800 VA
サイズ・重量 顕微鏡本体 382(W) × 511(D) × 689(H) mm 約40 kg
コントロールユニット 430(W) × 450(D) × 100(H) mm 約7 kg
LED光源ユニット 142(W) × 279(D) × 210(H) mm 約3.8 kg
ランプハウス 142(W) × 311(D) × 227(H) mm 約6.7 kg
制御用パソコン 175(W) × 440(D) × 360(H) mm 約9 kg
モニター 556(W) × 180(D) × 513(H) mm 約4 kg
トレーサビリティ対応
  1. ※1振動のない環境で基準パターンを対物レンズ100×(NA0.95)を使用して測定した時の値です。
  2. ※2振動のない環境でVLSIスタンダード社の標準段差を対物レンズ100×(NA0.95)を使用した時の値です。
  3. ※3使用する対物レンズの作動距離以内となります。

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