多彩なニーズに応える6つの機能

微分干渉観察

微分干渉(DIC:Differential Interference Contrast)観察は、光干渉によってリアルタイムに微小な表面形状にコントラストを付けるため、Zスキャンや画像演算を必要とせずに、低倍率でも検出能力が高くサンプルの欠陥や傷をストレスなく探すことができます。コンフォーカル観察で微小な凹凸にコントラストをつけるためには、高倍率観察が必要ですが、視野が限定されます。

DIC観察はコンフォーカル観察とは互いに独立した原理のため、コンフォーカル+DIC観察として使用できます。コンフォーカルとの組み合わせにより焦点深度が極めて浅くなることで、透明体のサンプルに対しても裏面の影響を受けることなく、サンプル表面の微細な凹凸形状を鮮明に可視化します。

観察事例を下の図に示します。コンフォーカル観察では表面の微小な凹凸が確認できませんが、これにDIC観察を加えると微細な凹凸が鮮明に可視化できています。コンフォーカルではない顕微鏡の通常のDIC観察ではSiCウェハのような薄い透明体の観察において表裏を区別することができません。コンフォーカル+DIC観察は焦点深度が浅いため、表面だけの凹凸を確実に鮮明に捉えることが可能です。これがコンフォーカル+DIC観察の大きな利点になります。DIC観察は共通行路の干渉なのでDIレンズとは異なり振動の影響を受けにくく、また、広視野での観察が可能であるため、リアルタイム観察像を用いる検査用途に向いています。

SiCウェハ上のエピ欠陥(視野1,500μm)
人工水晶の結晶表面形状(視野1,500μm)
GaNエピ欠陥(視野1,500μm)
事例

異物/欠陥検査

微分干渉観察機能はnmレベルの凹凸にコントラストをつけるため、サンプル表面の荒れ、キズ、欠陥の状態をリアルタイムに観察できます。特にSiCウェハなどの透明基板の評価・観察に威力を発揮します。

自動検査ソフトとの連携

微分干渉観察機能は微細な異物や表面欠陥を検出するのに最適な光学系です。比較的振動の影響も受けにくいため、自動検査ソフトとの組み合わせも有効です。自動化することでウェハ全面の評価などにご使用頂けます。

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