業界最高のスペックでより正確に

高精度測定

測定精度は「正確さ」と「繰り返し性」で表されます。「正確さ」は真の値にどれだけ近いか、「繰り返し性」は複数回の測定でいかにバラツキが少ないかを表すものです。
HYBRID+は水平方向測定、高さ測定ともに「正確さ」と「繰り返し性」で業界最高水準を実現しました。また、HYBRID+は独自技術により、測定精度の長期安定性にも優れています。

測定精度
幅方向測定 正確さ ±[0.02×(100/対物レンズ倍率)+L/1000]μm
繰り返し性(3σ) 0.01μm
高さ方向測定 正確さ ±(0.11+L/100)μm
繰り返し性(σ) 0.01μm

トレーサビリティ体系

HYBRID+は国家計量標準にトレーサブルな校正を行っています。出荷時およびお客さまの使用環境での校正に対応いたします。校正作業に伴って検査成績書・校正証明書を発行しております。品質管理業務にも安心してご利用いただけます。

トレーサビリティ体系

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