業界最高のスペックでより正確に

高速測定

HYBRID+は、業界最高レベルの測定速度を実現しました(15Hz~120Hzのフレームレート)。一般的なレーザー顕微鏡と比較しておよそ1/4の計測時間で測定できるので、画像連結、高速自動計測や自動欠陥検査、高速動画観察で威力を発揮します。下の図のように計測時間は、以下の計算式に基づいて高さ方向の計測範囲とスキャン分解能およびフレームレートによって決まります。フレームレートが高いと高速で変化する試料もコマ落ちなしに録画できるのは当然ですが、重要なことはフレームレートが高いほど短時間での測定が可能になることです。

計測時間 = 計測範囲 ÷ スキャン分解能 ÷ フレームレート

高いフレームレートは業務時間の短縮に寄与するほか、視野が常にステージ移動に追従するため、測定箇所の特定においてストレスのない作業環境を提供します。

処理時間は一般的なレーザー顕微鏡の1/4
例)10μm÷0.1μm÷15Hz=6.67sec

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共焦点システムソリューション部
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