計測・解析機能

表面粗さ測定機能

表面粗さ測定

JISに準拠した線粗さ、およびISOに準拠した面粗さ測定が可能です。コンフォーカル顕微鏡は、非接触のため触針式では測定できない柔らかいサンプルや、針先で検出できない微細な凹凸形状を解像できるため、より高精度な測定が可能です。また、触針式はプローブの走査ラインの方向によって取得データが変化しますが、コンフォーカル顕微鏡は2次元の高さデータをもとに粗さを算出するため、走査方向による測定誤差を生じません。

下の画像ではダイヤモンド砥石の表面形状を測定し、実断面曲線を取得しています。
(左図:カラー全焦点画像、右図:3次元表示、下図:実断面曲線)

ダイヤモンド砥石 3D画像 測定ライン(点線)上の実断面曲線

線粗さ測定(JIS B0601準拠)

画像を取得したのち、画面で確認しながら測定ラインを設定できるので、狙った場所を正確に測定できます。

面粗さ測定(ISO 25178に準拠)

測定ラインの方向によるバラツキがなく正確な測定が可能です。面粗さ測定は、測定面の三次元データを持つコンフォーカル顕微鏡に適した、粗さ評価方法といえます。また、触針式だけでなく、非接触(光プローブ)方式にも対応した国際規格にもなっています。

粗さサジェスト

2つのグループの複数のサンプルを自動比較し、違いの出るパラメータを上位順に表示します。良否判定の際、どのパラメータが最適かの判断が容易になります。

粗さサジェスト

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共焦点システムソリューション部
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