計測・解析機能

2次元計測機能

幅・ピッチ自動計測

画像上の任意ラインで輝度プロファイルを表示し線幅を高精度に測定します。スライスレベルを設けて幅を算出することで、ピクセル間距離以下の分解能で計測可能です。フォトマスクのような平坦でコントラストの高いサンプルに有効です。

下の画像(全焦点画像)では基準パターンの輝度プロファイルからピッチを求めています。

基準パターン 輝度プロファイル

2次元計測

撮影した画像から2次元的な距離や角度、円形度を算出します。サンプル画像から簡単に測長を行うことが可能です。

下の画像ではプリント基板の線幅を測定しています。

プリント基板銅線

XY座標計測

電動ステージを使用し、画面の中心座標を始点として登録し、視野外の任意の画面中心座標を終点として登録することでパッチワークせずに視野外の2点間距離を簡単かつ短時間で計測できます。

下の画像では基板上の約40mm(=40,000μm)の距離を測定しています。

始点 終点

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共焦点システムソリューション部
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