透明膜表面と基板界面との光学距離を測定することで、膜厚を算出します。厚さ1μm以上の透明膜の膜厚測定に有効です。

下の画像のように、X軸方向に測定ラインを設定し、Z軸方向にスキャンを行って透明膜の表面および基板界面の反射光を取得します。スキャン範囲はX軸とZ軸の平面であり、XZ断面図となります。XZ断面図は輝度情報を持っているためIZカーブを作成でき、ピーク部分を透明膜の界面として検出できます。下記画像のIZカーブの場合、上方に検出されたピークが膜表面であり、下方のピークが膜と基板の界面であると判断でき、ピーク間の光学距離を測定できます。光学距離を屈折率で補正することで実際の膜厚が算出できます。
光学モデルや複雑な計算がなく、簡単な操作で測定が可能です。

PI膜付き配線パターン XZ断面図
事例

オプションである反射分光膜厚測定機能と使い分けることで、ミリからナノまで広い範囲の膜厚計測が可能です。

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共焦点システムソリューション部
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